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新陽產品
  • 名稱: SYM-WB系列晶圓濕制程生產線

  SYM-WB系列晶圓濕制程生產線用于WLP、TSV、MEMS以及太陽能硅片等濕法處理過程,也適用于半導體前道芯片銅互連電鍍(Damascene)工藝流程。包括E-coating、EDPR、各式清洗等前后處理工序以及化學鍍、電鍍工序??筛鶕a、工藝需要量身定制適用于4-12"wafer的設備,設備可實現手動、半自動、全自動控制。該設備目前已經在行業中得到成熟應用。
 
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